无油真空泵在电子半导体行业中的应用

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  • Publication time:2019-07-23 10:50:17

也许,你在想无油真空泵在电子半导体行业中的应用是如何的。其实,很简单啊,首先,我们知道:电子半导体行业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域。半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。由于其在收音机、电视机以及测温方面的广泛应用,半导体行业有着庞大且多变的发展潜能。半导体导电性可受控制的特性使得其在科技与经济领域都发挥着十分重要的作用。

无油真空泵在电子半导体行业中的应用(图1)

本文主要介绍无油真空泵在电子半导体行业中的应用,跟随小编一起来了解一下。

根据行业追溯后,东莞莱诺的小编整理电子半导体行业所需应用主要分为三大类:生产用真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵。

生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵、无油真空泵)和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大,单机功率较小。

清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机,因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机,真空源是其系统的一部分。

工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、无油真空泵都是工艺真空中常见的真空设备。

无油活塞真空泵又叫电动往复泵,从结构分为单缸和多缸,其特点是扬程较高。适用于输送常温无固体颗粒的油乳化液等。用于油田、煤层注水、注油、采油;膛压机水压机的动力泵,水力清砂,化肥厂输送氨液等。若过流部件为不锈钢时,可输送腐蚀性液体。另外根据结构材质的不同还可以输送高温焦油、矿泥、高浓度灰浆、高粘度液体等。

无油活塞真空泵适用于高压、小流量的场合,特别是流量小于20米3/小时,排出压力大于98千帕时,更显示出它较高的效率和良好的运行性能。它吸入性能好,能抽吸各种不同介质、不同粘度的液体。因此,在石油化学工业、机械制造工业、造纸、食品加工、医药生产等方面应用很广。低中速活塞泵速度低,可用人力操作和畜力拖动,适用于农村给水和小型灌溉。

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