一、涡旋式无油真空泵的产品用途及使用范围

涡旋式无油真空泵是新一代的无油真空泵。它具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，性能达到国际先进水平，替代国外价格高昂的同类产品。它不会污染真空腔体，也不会造成泵体周围的环境污染，还可以在大气压附近连续运转，操作十分简单，实现绿色真空，节能减排的首选机型。它广泛应用于分子泵连接、医疗仪器、电子、半导体、医药、真空包装、太阳能、真空干燥过滤、科研、分析仪表、真空固定、气体脱气、真空成型、泄漏检测、加速器、溅射装置、回收装置等。

二、涡旋式无油真空泵的工作原理

涡旋式无油真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，最后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。

三、涡旋式无油真空泵的安装

1、检查产品

1)检查包装箱是否正面朝上，然后打开它。

2)检查产品型号是否是你订购的型号。

3)检查有无损坏。如有损坏，应向承运公司提出索赔。

4)卸去入口卡箍和出口卡箍。

5)检查产品包装塑料袋内的装箱清单，品名、数量是否包装齐全。

2、工作环境

1）有电击危险。要把真空泵安装在不使之暴露在潮湿条件（例如雨水或蒸汽）下的区域。电源接头上的潮气，可能造成短路而导致人身伤害或电击。

2）有爆炸和着火危险。安装的区域不应暴露在易爆、易燃气体或其它有关的危险物中。否则，真空泵可能引发爆炸或火灾。

3）在5℃-40℃的环境温度下操作。如果超出此环境温度范围操作，则可能造成着火、损坏或故障。

4）确保适当通风。要把设备安装在通风良好的区域。因为涡旋泵是通过空冷的通风不良可能造成异常过热、着火或故障。

5）要把真空泵安装在适当的地方。安装区域应使之不暴露在灰尘或腐蚀性气体中。未能将真空泵安装在合适的地方，可能产生损坏或故障。安装真空泵的区域，应使之不暴露在铁、碎石、磨料或木材粉尘等碎屑中。安装区域，应使真空泵不受日光直接照射。日光直接照射可能造成高温和故障。

3、真空泵的安装

该真空泵备有用于运输的起重吊环螺栓。应当使用具有足够承载能力的起吊设备。在真空泵被吊起移动时，绝不要站在悬吊起来的真空泵下方。要把真空泵安装在牢固的水平地面（斜度小于5°）上。安装不平稳，可能引发故障。如果地面不稳固，则应通过以下方法来固定真空泵：利用真空泵底脚上的10×φ8mm孔固定。

4、 电气连接

电气连接必须由合格的电工进行。否则，可能发生电击或火灾。在真空泵上接线之前，要断开输入总电源。不这样做，可能造成电击伤害。在接线之前，应当检查电源和电压。三相电动机可用两种电压：380V 50HZ； 440V 60HZ。

四、涡旋式无油真空泵和真空系统的连接

1、真空泵的入口（法兰）为KF40，出口（法兰）为KF25。

2、一般是采用真空泵入口直接与真空室连接，但前提是必须是清洁的气体。

3、如有碎屑和水蒸气、尘埃等，建议采用如下图连接。

4、把隔离阀安装在真空室和真空泵的入口之间，以防止在启动或停机的时候，碎屑从真空泵回抽到真空室内。

5、我们建议使用自动阀作为隔离阀，它在电源出故障时关闭，以防止碎屑从真空泵内侧回抽到真空室中。

6、在隔离阀和真空泵的入口之间安装充气阀，在系统运行过程中打开此充气阀，可以清除真空泵内的污垢和水蒸汽。

7、在真空室和真空泵之间，要使用清洁的连接管。我们建议在真空泵的入口和真空室之间采用软管，使得真空泵的振动不会传播给真空室。

8、确保在操作过程中排气管不堵塞。

9、确保真空泵的出口压力不超过大气压。

五、涡旋式无油真空泵的操作

1、起动

1）在起动真空泵之前，先检查各连接接口的情况，要密封，否则会影响真空度。

2）如果抽吸湿空气或可冷凝的蒸汽，则应如下所述，在起动真空泵之前，打开进气口，以净化之。

3）在真空泵初次起动或长时间闲置之后，真空泵要达到它的极限压力，需要6-8小时。

关闭入口隔离阀，连续运转真空泵6-8小时，每小时打开充气阀2-3次，每次放空3-5秒钟。但若中间停过真空泵，潮气可能进入真空泵中，达到极限压力所需的时间会延长。

4）在起动真空泵和停真空泵的时候，要关闭真空泵和真空室之间的隔离阀。否则，碎屑可能从真空泵回抽到真空泵中。

5）当再起动已经处在工作温度下的真空泵时，在起动真空泵之前，要打开充气阀放空3-5秒钟。否则，真空泵的温度可能变得不稳定，造成故障。

2、操作

接下述步骤开始起动真空泵：

1）关闭隔离阀，以防止碎屑从真空泵回抽到真空室内。（打开充气阀，如安装了此阀的话）。

2）接通真空泵。

3）打开隔离阀（关闭充气阀，如果安装了此阀的话），给真空室抽气。

3、抽气

1）连续运转真空泵接近它的极限压力（例如，前级涡轮分子真空泵），可能使异物或潮气沉积在真空泵内而造成故障。

2）操作时，关闭隔离阀并打开充气阀放空3-5秒若干次，这样每天进行一次，以清除真空泵内异物。

3）在指定的湿度下操作在抽蒸汽时，入口气体温度必须低于50℃。当蒸汽湿度高于50℃时，要在真空室和真空泵之间的管道中安装冷凝器或冷阱，以便把入口蒸汽温度降低到50℃以下。抽吸温度高于50℃的蒸汽，可能产生故障。

4、抽排蒸汽

1）在抽蒸汽时，要打开空气进气口，如果在关闭该口的情况下抽蒸汽，则冷凝的潮气留在真空泵内，将造成故障。

2）当打开空气进气口时，噪声级和极限压力增大。

5、空气冲洗的目的

1）吸入真空泵内的潮气量，依真空室内的温度和压力而变。抽吸潮湿气体，可导致潮气冷凝在真空泵内。这种残留的潮气可能使真空泵的极限压力性能变差或出故障。

2）当真空室内含有湿度大于60%RH的气体时，必须打开空气进气口运转真空泵。

3）打开空气进气口运转真空泵去除潮气，使真空泵能够达到它的极限压力。

6、停机

1）在抽排蒸汽之后，继续在打开空气进气口的情况下运转1小时以上。

2）排蒸汽后立即关闭空气进气口或停真空泵，则冷凝的潮气会留在真空泵内造成故障。

3）在停机的时候，为了防止碎屑从真空泵回抽到真空室内，要关闭隔离阀（打开充气阀，如果安装了此阀的话）。

4）将真空泵关闭。

5）在真空泵停止时，大气从空气进气口回吸到真空泵内，真空泵内压力变成等于大气压力。为了保持真空室中的真空状态和防止碎屑从真空泵回吸到真空室内，应当在停真空泵之前，关闭通往真空室的隔离阀。