无油真空泵是一种无需任何油作润滑就能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。无油真空泵耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

一、无油真空泵工作原理：

无油真空泵工作原理常见的有三种，分别与容积泵、爪泵和低温泵相似。下面，小编就为大家详细介绍无油真空泵工作原理。

1.通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。

2.依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。三是低温泵，在接近绝对零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。

二、无油真空泵日常使用及维护时，需要注意以下事项：

1.应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

2.无灰尘及脏物的清洁场所。

3.无水、油等液体会降落到泵上。

4.不直接暴露在阳光里。

5.有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。

6.泵必须安装在平坦的平面上。

7.最好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。

8.必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。

9.与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。

10.接电线时，应注意电机铭牌上的规定接线要求。三相电泵要注意电机旋转方向应与泵上的标示箭头方向一致。

三、无油真空泵类型

随着社会科技的发展，越来越多的行业，对清洁真空、环保等的需求严格，要求避免返油漏油的污染，因此无油真空泵得到了快速地发展。因为起步较晚，很多企业用户对无油真空泵的印象仅仅停留在爪式真空泵、螺杆真空泵少数几类上。而事实上，无油真空泵涉及的种类可不止这些。

1.爪式真空泵

它是针对电子半导体工业而研制开发的干式真空泵，适应清洁真空需求，并且具有自行开闭的阀门效果，具备较高的效率。

2.螺杆真空泵

螺杆真空泵与爪式真空泵一样都是非接触式的无油真空泵，泵腔内不含油、水等物质，同时转子间存在间隙，因此对颗粒物、可凝性气体具有一定的耐受性。同时对比爪式真空泵，因为不具备类似阀门的结构，效率上有所欠缺，但其气道通顺、转子结构简单，适应性更好，因此两者相比各有优势。

3.涡旋式真空泵

涡旋式真空泵的研制生产主要集中与美国、日本以及英国，因此国内很多企业都不了解这种无油真空泵。它抽速较小，较多地应用与分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备中，以及作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。

4.罗茨真空泵

罗茨真空泵种类较多，分湿式、干式以及直排大气型、普通型、多级罗茨等等，因此造成了一些用户对它的误解。应用于中高真空的机械增压泵以及多级罗茨泵其实都是无油真空泵，且抽气量大，应用广泛。

5.无油旋片真空泵与无油活塞真空泵（往复泵）

虽然常见旋片真空泵与活塞真空泵，在泵腔内都是有油介质参与的，但它们也可以通过采用自润滑材料实现无油运作，成为无油真空泵。另外往复泵里的隔膜真空泵，也有无油型的。

6.涡轮分子泵

它是一种原应用于超高真空的无油真空泵，随着向高出口压力、高流量方向发展，应用范围逐渐向中高真空领域发展。

以上几种就是目前常见的几大无油真空泵种类。此外还有低温泵、吸附泵等可以实现清洁无油真空环境的气体捕集泵，但通常不会把它们归入到无油真空泵里去，所以在此也不再作列举了。